光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)的空氣中微塵粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內(nèi)的溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計的密閉空間。
光學(xué)微電子凈化工程又名無塵室或潔凈室,目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化的需求更為迫切,如超大型體積電路的研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。